Purificatore/sistema di purificazione/generatore di gas ad altissima purezza
Campi di applicazione: semiconduttori elettronici, circuiti integrati su larga scala, MAMS, silicio monocristallino, silicio policristallino ed epitassia di silicio, LED, TFT, nitruro di gallio, carburo di silicio, ricerca e sviluppo scientifico, analisi sperimentale, ecc.
Caratteristiche
● Due torri alternano la rigenerazione ad adsorbimento, funzionamento continuo automatico. |  |
Parametri della tabella
| Modelli di serie | Per il gas | Indice del gas grezzo | Indice del gas prodotto | |||||||||||
| N2 | H2 | IL2 | Con | Lui | IL2 | H2IL | CO2 | CO | CH4 | H2 | N2 | Granularità | ||
| 9VV | ● | ● | ● | ● | ● | 5N | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | — | ≤0,1 ppb | — | 0,003 mM |
| 9OVV | ● | — | ● | ● | ● | 5N | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | — | 0,003 mM |
| 9VVX | — | — | — | ● | ● | 5N | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | 0,003 mM |
| — | ● | — | — | — | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | — | ≤0,1 ppb | 0,003 mM | ||
| 9X | — | — | — | ● | ● | 5N | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | 0,003 mM |
| — | ● | — | — | — | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | — | ≤0,1 ppb | 0,003 mM | ||
| Nota: specifiche di flusso comuni:1-20000 Nm3/H;Pressione comunemente utilizzata:1-20 MPa | ||||||||||||||
