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Purificatore/sistema di purificazione/generatore di gas ad altissima purezza

Campi di applicazione: semiconduttori elettronici, circuiti integrati su larga scala, MAMS, silicio monocristallino, silicio policristallino ed epitassia di silicio, LED, TFT, nitruro di gallio, carburo di silicio, ricerca e sviluppo scientifico, analisi sperimentale, ecc.

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